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蔡司扫描电子显微镜仪器结构及原理

分类:新闻中心 发布时间:2023-04-27 15686次浏览

1)高能电子束的镜筒由电子枪、电磁透镜和扫描线圈组成,能够产生高能电子束。2)成...

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1)高能电子束的镜筒由电子枪、电磁透镜和扫描线圈组成,能够产生高能电子束。


2)成像系统能够接收和处理各种电子信号,包括扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器。


3)信息记录系统能够记录电子图像,包括摄像头、图像分析器和记录设备。


4)真空系统作为电子束与样品作用载体,包括样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置。


5)电源系统能够调控天门扫描电子显微镜外部环境,包括不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和独立地线。

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